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Surface morphology of silicon layers grown on patterned silicon substrates by liquid-phase epitaxy

Surface morphology of silicon layers grown on patterned silicon substrates by liquid-phase epitaxy

K.J Weber; K.R Catchpole

作者K.J Weber; K.R Catchpole
卷第204卷
期第4期
印刷ISSN0022-0248
文件大小783.72KB
发表时间1999
DOI10.1016/s0022-0248(99)00222-5
页码453-461

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