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The initial growth steps of ultrathin gate oxides

The initial growth steps of ultrathin gate oxides

Takeo Hattori; Hiroshi Nohira; Kensuke Takahashi

作者Takeo Hattori; Hiroshi Nohira; Kensuke Takahashi
卷第48卷
印刷ISSN0167-9317
文件大小574.58KB
发表时间1999
DOI10.1016/s0167-9317(99)00329-9
页码17-24

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