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Micromachined optical-interference microphone

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Dennis S. Greywall

作者Dennis S. Greywall
卷第75卷
期第3期
印刷ISSN0924-4247
文件大小678.65KB
发表时间1999
DOI10.1016/s0924-4247(99)00156-9
页码257-268

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