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Step Bunching during SiGe Growth on Vicinal Si(111) Surfaces

Step Bunching during SiGe Growth on Vicinal Si(111) Surfaces

Hibino, H.; Ogino, T.

期刊名称MRS Proceedings
作者Hibino, H.; Ogino, T.
卷第584卷
电子ISSN1946-4274
文件大小2716.13KB
发表时间1999-1
DOI10.1557/proc-584-77

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