Molecular Beam Mass Spectrometry Studies of the Thermal Decomposition of Tetrakis(dimethylamino)Titanium

• 期刊名称MRS Proceedings
• 作者Amato-Wierda, Carmela C.; Norton, Edward T.; Wierda, Derk A.
• 卷第606卷
• 电子ISSN1946-4274
• 文件大小1205.27KB
• 发表时间1999-1
• DOI10.1557/proc-606-103