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Electrochemical etching of silicon carbide

Electrochemical etching of silicon carbide

Stefan Rysy; Horst Sadowski; Reinhard Helbig

作者Stefan Rysy; Horst Sadowski; Reinhard Helbig
卷第3卷
印刷ISSN1432-8488
电子ISSN1433-0768
文件大小444.46KB
发表时间1999-09
DOI10.1007/s100080050179
页码437-445

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