Self-ordered microcavities embedded in ultrashallow siliconp-njunctions
- 作者N. T. Bagraev; A. D. Buravlev; L. E. Klyachkin; A. M. Malyarenko; S. A. Rykov
- 卷第34卷
- 期第6期
- 印刷ISSN1063-7826
- 电子ISSN1090-6479
- 文件大小651.93KB
- 发表时间2000-06
- DOI10.1134/1.1188058
- 页码700-711