Evaluating probes for “electrical” atomic force microscopy

T. Trenkler; T. Hantschel; R. Stephenson; P. De Wolf; W. Vandervorst; L. Hellemans; A. Malavé; D. Büchel; E. Oesterschulze; W. Kulisch; P. Niedermann; T. Sulzbach; O. Ohlsson

作者T. Trenkler; T. Hantschel; R. Stephenson; P. De Wolf; W. Vandervorst; L. Hellemans; A. Malavé; D. Büchel; E. Oesterschulze; W. Kulisch; P. Niedermann; T. Sulzbach; O. Ohlsson
卷第18卷
期第1期
文件大小933.29KB
发表时间2000
DOI10.1116/1.591205

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Evaluating probes for “electrical” atomic force microscopy