Effect of current crowding on contact failure in heavily doped n+- and p+-silicon-on-insulator
Huang, J. S.; Chen, Chih; Yeh, C. C.; Tu, K. N.; Shofner, T. L.; Drown, J. L.; Irwin, R. B.; Vartuli, C. B.
- 期刊名称Journal of Materials Research
- 作者Huang, J. S.; Chen, Chih; Yeh, C. C.; Tu, K. N.; Shofner, T. L.; Drown, J. L.; Irwin, R. B.; Vartuli, C. B.
- 卷第15卷
- 期第11期
- 印刷ISSN0884-2914
- 电子ISSN2044-5326
- 文件大小831.46KB
- 发表时间2000-11
- DOI10.1557/JMR.2000.0343
- 页码2387-2392