Assembly of Microsystems

H. Van Brussel; J. Peirs; D. Reynaerts; A. Delchambre; G. Reinhart; N. Roth; M. Weck; E. Zussman

作者H. Van Brussel; J. Peirs; D. Reynaerts; A. Delchambre; G. Reinhart; N. Roth; M. Weck; E. Zussman
卷第49卷
期第2期
印刷ISSN0007-8506
文件大小5780.89KB
发表时间2000
DOI10.1016/s0007-8506(07)63450-7
页码451-472

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