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Study of Nitrogen Incorporation in 6H-SiC Single Crystals Grown by PVT

Schulz, D.; Irmscher, K.; Dolle, J.; Eiserbeck, W.; Müller, Timo; Rost, H. J.; Siche, D.; Wagner, Günter; Wollweber, Jürgen

期刊名称Materials Science Forum
作者Schulz, D.; Irmscher, K.; Dolle, J.; Eiserbeck, W.; Müller, Timo; Rost, H. J.; Siche, D.; Wagner, Günter; Wollweber, Jürgen
电子ISSN1662-9752
文件大小284.05KB
发表时间2000
DOI10.4028/www.scientific.net/msf.338-342.87
页码87-90