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Galvanic etching for sensor fabrication

Galvanic etching for sensor fabrication

Ashruf, C M A; French, P J; Sarro, P M; Kazinczi, R; Xia, X H; Kelly, J J

期刊名称Journal of Micromechanics and Microengineering
作者Ashruf, C M A; French, P J; Sarro, P M; Kazinczi, R; Xia, X H; Kelly, J J
卷第10卷
期第4期
印刷ISSN0960-1317
电子ISSN1361-6439
文件大小1199.02KB
发表时间2000-12-01
DOI10.1088/0960-1317/10/4/304
页码505-515

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