Observation of Transient Enhanced Diffusion in B+-Implanted Si by Buried Boron Isotopes
R. Chang; H. Chiang; H. Liu; L. Ho; P. Chiang; J. Tsai; J. Lin
- 作者R. Chang; H. Chiang; H. Liu; L. Ho; P. Chiang; J. Tsai; J. Lin
- 文件大小111.09KB
- 发表时间2000
- DOI10.1143/JJAP.39.6136