Metal-organic chemical vapor deposition of Cr2O3 and Nd2O3 coatings. Oxide growth kinetics and characterization

• 作者S Chevalier; G Bonnet; J.P Larpin
• 卷第167卷
• 印刷ISSN0169-4332
• 文件大小1027.04KB
• 发表时间2000
• DOI10.1016/s0169-4332(00)00286-5
• 页码125-133