High aspect ratio micromachining (HARM) technologies for microinertial devices

• 作者M. McNie; D. King; C. Vizard; A. Holmes; K. W. Lee
• 卷第6卷
• 期第5期
• 印刷ISSN0946-7076
• 电子ISSN1432-1858
• 文件大小344.05KB
• 发表时间2000-08
• DOI10.1007/s005420000044
• 页码184-188