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Angular dependence of the sputtering yield from a cylindrical track

Angular dependence of the sputtering yield from a cylindrical track

E.M. Bringa; R.E. Johnson

作者E.M. Bringa; R.E. Johnson
卷第180卷
印刷ISSN0168-583X
文件大小174.72KB
发表时间2001
DOI10.1016/s0168-583x(01)00402-5
页码99-104

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