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An efficient treatment technique for TMAH wastewater by catalytic oxidation

An efficient treatment technique for TMAH wastewater by catalytic oxidation

Hirano, K.; Okamura, J.; Taira, T.; Sano, K.; Toyoda, A.; Ikeda, M.

期刊名称IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
作者Hirano, K.; Okamura, J.; Taira, T.; Sano, K.; Toyoda, A.; Ikeda, M.
卷第14卷
期第3期
印刷ISSN0894-6507
文件大小101.05KB
发表时间2001
DOI10.1109/66.939814
页码202-206

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