Crystalline zirconia oxide on silicon as alternative gate dielectrics
S. J. Wang; C. K. Ong; S. Y. Xu; P. Chen; W. C. Tjiu; J. W. Chai; A. C. H. Huan; W. J. Yoo; J. S. Lim; W. Feng; W. K. Choi
- 作者S. J. Wang; C. K. Ong; S. Y. Xu; P. Chen; W. C. Tjiu; J. W. Chai; A. C. H. Huan; W. J. Yoo; J. S. Lim; W. Feng; W. K. Choi
- 文件大小417.81KB
- 发表时间2001
- DOI10.1063/1.1354161