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Evolution of nanoscale texture in ultrathin TiN films

Williamson, M. J.; Dunn, D. N.; Hull, R.; Kodambaka, S.; Petrov, I.; Greene, J. E.

期刊名称Applied Physics Letters
作者Williamson, M. J.; Dunn, D. N.; Hull, R.; Kodambaka, S.; Petrov, I.; Greene, J. E.
卷第78卷
期第15期
印刷ISSN0003-6951
文件大小430.19KB
发表时间2001
DOI10.1063/1.1360235