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Room-temperature 1.54 μm electroluminescence from Er-doped silicon-rich silicon oxide films deposited on n[sup +]-Si substrates by magnetron sputtering

Ran, G. Z.; Chen, Y.; Qin, W. C.; Fu, J. S.; Ma, Z. C.; Zong, W. H.; Lu, H.; Qin, J.; Qin, G. G.

期刊名称Journal of Applied Physics
作者Ran, G. Z.; Chen, Y.; Qin, W. C.; Fu, J. S.; Ma, Z. C.; Zong, W. H.; Lu, H.; Qin, J.; Qin, G. G.
卷第90卷
期第11期
印刷ISSN0021-8979
文件大小283.42KB
发表时间2001
DOI10.1063/1.1413231