X-ray photoemission spectroscopy study of silicidation of Ti on BF[sub 2][sup +]-implanted polysilicon

H. N. Chua; K. L. Pey; W. H. Lai; J. W. Chai; J. S. Pan; D. H. C. Chua; S. Y. Siah

作者H. N. Chua; K. L. Pey; W. H. Lai; J. W. Chai; J. S. Pan; D. H. C. Chua; S. Y. Siah
文件大小628.75KB
发表时间2001
DOI10.1116/1.1421565

发现好书期刊，享受阅读乐趣