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Evaluation of SOI Substrates by Positron Annihilation

Evaluation of SOI Substrates by Positron Annihilation

A. Uedono; A. Ogura; S. Tanigawa

作者A. Uedono; A. Ogura; S. Tanigawa
文件大小305.00KB
发表时间2001
DOI10.1143/JJAP.40.2903

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