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Monitoring of ion mass composition in plasma immersion ion implantation

Monitoring of ion mass composition in plasma immersion ion implantation

G.H. Kim; G.H. Rim; S.A. Nikiforov

作者G.H. Kim; G.H. Rim; S.A. Nikiforov
卷第136卷
印刷ISSN0257-8972
文件大小746.94KB
发表时间2001
DOI10.1016/s0257-8972(00)01026-4
页码255-260

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