High-power gas-discharge EUV source
V. M. Borisov; A. Yu. Vinokhodov; A. S. Ivanov; Yu. B. Kiryukhin; S. V. Mironov; V. A. Mishchenko; A. V. Prokof’ev; O. B. Khristoforov
- 作者V. M. Borisov; A. Yu. Vinokhodov; A. S. Ivanov; Yu. B. Kiryukhin; S. V. Mironov; V. A. Mishchenko; A. V. Prokof’ev; O. B. Khristoforov
- 卷第28卷
- 期第10期
- 印刷ISSN1063-780X
- 电子ISSN1562-6938
- 文件大小65.18KB
- 发表时间2002-10
- DOI10.1134/1.1513842
- 页码877-881