Si3N4 SOI Structures Produced by Nitrogen Ion Implantation at High Energies and Beam Current Densities

• 作者F. F. Komarov; A. F. Komarov; S. A. Petrov
• 卷第31卷
• 期第5期
• 印刷ISSN1063-7397
• 电子ISSN1608-3415
• 文件大小39.44KB
• 发表时间2002-09
• DOI10.1023/a:1020239025451
• 页码305-309