A 12 MHz micromechanical bulk acoustic mode oscillator

• 作者T. Mattila; J. Kiihamäki; T. Lamminmäki; O. Jaakkola; P. Rantakari; A. Oja; H. Seppä; H. Kattelus; I. Tittonen
• 卷第101卷
• 印刷ISSN0924-4247
• 文件大小259.91KB
• 发表时间2002
• DOI10.1016/s0924-4247(02)00204-2
• 页码1-9