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XPS analysis of FIB-milled Si

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Amy C. Ferryman; Julia E. Fulghum; Lucille A. Giannuzzi; Fred A. Stevie

作者Amy C. Ferryman; Julia E. Fulghum; Lucille A. Giannuzzi; Fred A. Stevie
卷第33卷
期第12期
印刷ISSN0142-2421
电子ISSN1096-9918
文件大小330.86KB
发表时间2002
DOI10.1002/sia.1448
页码907-913

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