Thin diamond films for integrated circuits
V. K. Belyi; V. P. Varnin; S. A. Gavrilov; É. A. Il’ichev; É. A. Poltoratskii; G. S. Rychkov; I. G. Teremetskaya
- 作者V. K. Belyi; V. P. Varnin; S. A. Gavrilov; É. A. Il’ichev; É. A. Poltoratskii; G. S. Rychkov; I. G. Teremetskaya
- 卷第29卷
- 期第5期
- 印刷ISSN1063-7850
- 电子ISSN1090-6533
- 文件大小64.74KB
- 发表时间2003-05
- DOI10.1134/1.1579801
- 页码383-384