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Großflächenbeschichtung mit superhartem Kohlenstoff. Large area deposition of superhard carbon films

Thomas Stucky; Urs Baier; Carl-Friedrich Meyer; Hans-Joachim Scheibe; Bernd Schultrich

作者Thomas Stucky; Urs Baier; Carl-Friedrich Meyer; Hans-Joachim Scheibe; Bernd Schultrich
卷第15卷
期第6期
印刷ISSN0947-076X
电子ISSN1522-2454
文件大小498.73KB
发表时间2003
DOI10.1002/vipr.200300195
页码299-304