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Micro-machine fabrication using diamond-like carbon films

Micro-machine fabrication using diamond-like carbon films

Mousinho, A.P.; Mansano, R.D.; Massi, M.; Jaramillo, J.M.

期刊名称Diamond and Related Materials
作者Mousinho, A.P.; Mansano, R.D.; Massi, M.; Jaramillo, J.M.
卷第12卷
印刷ISSN0925-9635
文件大小356.79KB
发表时间2003-3
DOI10.1016/S0925-9635(02)00219-4
页码1041-1044

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