Microstructure and properties of ultrathin amorphous silicon nitride protective coating

B. K. Yen; R. L. White; R. J. Waltman; Q. Dai; D. C. Miller; A. J. Kellock; B. Marchon; P. H. Kasai; M. F. Toney; B. R. York; H. Deng; Q. Xiao; V. Raman

作者B. K. Yen; R. L. White; R. J. Waltman; Q. Dai; D. C. Miller; A. J. Kellock; B. Marchon; P. H. Kasai; M. F. Toney; B. R. York; H. Deng; Q. Xiao; V. Raman
文件大小505.32KB
发表时间2003
DOI10.1116/1.1615974

发现好书期刊，享受阅读乐趣

Microstructure and properties of ultrathin amorphous silicon nitride protective coating