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Surface Structure of Electrochemically Etched α-SiC Substrates

Mikami, Hideno; Umetani, A.; Hatayama, Tomoaki; Yano, Hiroshi; Uraoka, Yukiharu; Fuyuki, Takashi

期刊名称Materials Science Forum
作者Mikami, Hideno; Umetani, A.; Hatayama, Tomoaki; Yano, Hiroshi; Uraoka, Yukiharu; Fuyuki, Takashi
电子ISSN1662-9752
文件大小482.04KB
发表时间2003
DOI10.4028/www.scientific.net/MSF.433-436.717
页码717-720