Moisture-Induced Material Instability of Porous Organosilicate Glass
Chang, T. C.; Chen, C. W.; Liu, P. T.; Mor, Y. S.; Tsai, H. M.; Tsai, T. M.; Yan, S. T.; Tu, C. H.; Tseng, T. Y.; Sze, S. M.
- 期刊名称Electrochemical and Solid-State Letters
- 作者Chang, T. C.; Chen, C. W.; Liu, P. T.; Mor, Y. S.; Tsai, H. M.; Tsai, T. M.; Yan, S. T.; Tu, C. H.; Tseng, T. Y.; Sze, S. M.
- 卷第6卷
- 期第4期
- 印刷ISSN1099-0062
- 文件大小72.28KB
- 发表时间2003
- DOI10.1149/1.1557032