Planarized multi-layer fabrication technology for LTS large-scale SFQ circuits
S. Nagasawa; K. Hinode; M. Sugita; T. Satoh; H. Akaike; Y. Kitagawa; M. Hidaka
- 作者S. Nagasawa; K. Hinode; M. Sugita; T. Satoh; H. Akaike; Y. Kitagawa; M. Hidaka
- 文件大小218.05KB
- 发表时间2003
- DOI10.1088/0953-2048/16/12/036