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Micromachined thermal accelerometer

Micromachined thermal accelerometer

F. Mailly; A. Giani; A. Martinez; R. Bonnot; P. Temple-Boyer; A. Boyer

作者F. Mailly; A. Giani; A. Martinez; R. Bonnot; P. Temple-Boyer; A. Boyer
卷第103卷
期第3期
印刷ISSN0924-4247
文件大小260.12KB
发表时间2003
DOI10.1016/s0924-4247(02)00428-4
页码359-363

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