On the Reactivity of Silver Electrodes in a Chlorine Radiofrequency Plasma — Plasma Oxidation vs. Thermal Oxidation

• 作者M. Vennekamp; J. Janek
• 卷第629卷
• 期第10期
• 印刷ISSN0044-2313
• 电子ISSN1521-3749
• 文件大小398.89KB
• 发表时间2003
• DOI10.1002/zaac.200300137
• 页码1851-1862