Trace Analysis of Al on Silicon Surfaces by Ultra‐soft X‐Ray Emission Spectroscopy

• 期刊名称Spectroscopy Letters
• 作者Andermann, G.; Scimeca, T.; Zhang, C. H.
• 卷第36卷
• 印刷ISSN0038-7010
• 电子ISSN1532-2289
• 文件大小650.44KB
• 发表时间2003-01-05
• DOI10.1081/sl-120021176
• 页码93-98