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Determination of density profile of ultrathin SiO[sub 2]/Si[sub 3]N[sub 4]/SiO[sub 2]/Si(001) multilayer structures using x-ray reflectivity technique

Determination of density profile of ultrathin SiO[sub 2]/Si[sub 3]N[sub 4]/SiO[sub 2]/Si(001) multilayer structures using x-ray reflectivity technique

Banerjee, S.; Ferrari, S.; Piagge, R.; Spandoni, S.
  • 期刊名称Applied Physics Letters
  • 作者Banerjee, S.; Ferrari, S.; Piagge, R.; Spandoni, S.
  • 卷第84卷
  • 期第19期
  • 印刷ISSN0003-6951
  • 文件大小275.69KB
  • 发表时间2004
  • DOI10.1063/1.1739519
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