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Nb/AlOx/Nb junctions fabricated using ECR plasma etching

Nb/AlOx/Nb junctions fabricated using ECR plasma etching

H. Akaike; Y. Kitagawa; T. Satoh; K. Hinode; S. Nagasawa; M. Hidaka

作者H. Akaike; Y. Kitagawa; T. Satoh; K. Hinode; S. Nagasawa; M. Hidaka
印刷ISSN0921-4534
文件大小289.67KB
发表时间2004
DOI10.1016/j.physc.2004.01.150
页码1442-1446

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