Deposition of HfO[sub 2] on germanium and the impact of surface pretreatments
Van Elshocht, S.; Brijs, B.; Caymax, M.; Conard, T.; Chiarella, T.; De Gendt, S.; De Jaeger, B.; Kubicek, S.; Meuris, M.; Onsia, B.; Richard, O.; Teerlinck, I.; Van Steenbergen, J.; Zhao, C.; Heyns, M.
- 期刊名称Applied Physics Letters
- 作者Van Elshocht, S.; Brijs, B.; Caymax, M.; Conard, T.; Chiarella, T.; De Gendt, S.; De Jaeger, B.; Kubicek, S.; Meuris, M.; Onsia, B.; Richard, O.; Teerlinck, I.; Van Steenbergen, J.; Zhao, C.; Heyns, M.
- 卷第85卷
- 期第17期
- 印刷ISSN0003-6951
- 文件大小376.88KB
- 发表时间2004
- DOI10.1063/1.1810642