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Electrodeless wet etching of GaN assisted with chopped ultraviolet light

Electrodeless wet etching of GaN assisted with chopped ultraviolet light

Hwang, Z. H.; Hwang, J. M.; Hwang, H. L.; Hung, W. H.

期刊名称Applied Physics Letters
作者Hwang, Z. H.; Hwang, J. M.; Hwang, H. L.; Hung, W. H.
卷第84卷
期第19期
印刷ISSN0003-6951
文件大小625.77KB
发表时间2004
DOI10.1063/1.1737799

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