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Effects of Post-Metal Annealing on Electrical Characteristics and Thermal Stability of W[sub 2]N/Ta[sub 2]O[sub 5]/Si MOS Capacitors

Effects of Post-Metal Annealing on Electrical Characteristics and Thermal Stability of W[sub 2]N/Ta[sub 2]O[sub 5]/Si MOS Capacitors

Jiang, Pei-Chuen; Chen, J. S.

期刊名称Journal of The Electrochemical Society
作者Jiang, Pei-Chuen; Chen, J. S.
卷第151卷
期第11期
印刷ISSN0013-4651
文件大小105.16KB
发表时间2004
DOI10.1149/1.1800672

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