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Effects of Substrate Temperature on the Initial Growth of Titanium Silicides on Si(111)

Effects of Substrate Temperature on the Initial Growth of Titanium Silicides on Si(111)

H. C. Hsu; H. F. Hsu; T. F. Chiang; K. F. Liao; L. J. Chen

作者H. C. Hsu; H. F. Hsu; T. F. Chiang; K. F. Liao; L. J. Chen
文件大小223.29KB
发表时间2004
DOI10.1143/JJAP.43.4537

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