Large area deposition of superhard films

• 作者Thomas Stucky; Urs Baier; Carl-Friedrich Meyer; Hans-Joachim Scheibe; Bernd Schultrich
• 卷第17卷
• 印刷ISSN0947-076X
• 电子ISSN1522-2454
• 文件大小208.77KB
• 发表时间2005
• DOI10.1002/vipr.200590025
• 页码20-25