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On the magnetic field profile in a high-power planar magnetron discharge

Abolmasov, S.N.; Bizyukov, A.A.

作者Abolmasov, S.N.; Bizyukov, A.A.
卷第33卷
期第4期
印刷ISSN0093-3813
电子ISSN1939-9375
文件大小180.91KB
发表时间2005
DOI10.1109/tps.2005.852358
页码1447-1449

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