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GaAs Oxide Desorption under Extreme Ultraviolet Photon Flux

D. Ercolani; M. Lazzarino; G. Mori; B. Ressel; L. Sorba; A. Locatelli; S. Cherifi; A. Ballestrazzi; S. Heun

作者D. Ercolani; M. Lazzarino; G. Mori; B. Ressel; L. Sorba; A. Locatelli; S. Cherifi; A. Ballestrazzi; S. Heun
卷第15卷
期第4期
印刷ISSN1616-301X
电子ISSN1616-3028
文件大小380.45KB
发表时间2005
DOI10.1002/adfm.200400033
页码587-592