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Effect of Ar+ ion implantation on the nano-mechanical properties and microstructure of single crystal silicon

Effect of Ar+ ion implantation on the nano-mechanical properties and microstructure of single crystal silicon

Rong Sun; Tao Xu; Qun-ji Xue
  • 作者Rong Sun; Tao Xu; Qun-ji Xue
  • 卷第249卷
  • 印刷ISSN0169-4332
  • 文件大小222.01KB
  • 发表时间2005
  • DOI10.1016/j.apsusc.2004.12.015
  • 页码386-392
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