Novel approaches to improve laser annealed SOI-MOSFETs

T. Herrmann; Th. Feudel; M. Horstmann; J. Hoentschel; L. Herrmann; M. Herden; W. Klix; R. Stenzel

作者T. Herrmann; Th. Feudel; M. Horstmann; J. Hoentschel; L. Herrmann; M. Herden; W. Klix; R. Stenzel
印刷ISSN0921-5107
文件大小201.54KB
发表时间2005
DOI10.1016/j.mseb.2005.08.056
页码223-227

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