发现好书期刊，享受阅读乐趣

海量图书期刊资源，随时随地畅享阅读乐趣

Influence of rapid thermal annealing on morphological and electrical properties of RF sputtered AlN films

Influence of rapid thermal annealing on morphological and electrical properties of RF sputtered AlN films

J.P. Kar; G. Bose; S. Tuli

作者J.P. Kar; G. Bose; S. Tuli
卷第8卷
期第6期
印刷ISSN1369-8001
文件大小369.65KB
发表时间2005
DOI10.1016/j.mssp.2006.04.001
页码646-651

← 返回【学霸图书馆】主页