Characterization of ablation plasma ion implantation

F. Belloni; D. Doria; A. Lorusso; V. Nassisi; L. Torrisi; L. Calcagnile; G. Quarta; D. Bleiner; D. Manno

作者F. Belloni; D. Doria; A. Lorusso; V. Nassisi; L. Torrisi; L. Calcagnile; G. Quarta; D. Bleiner; D. Manno
卷第240卷
印刷ISSN0168-583X
文件大小125.46KB
发表时间2005
DOI10.1016/j.nimb.2005.06.084
页码36-39

发现好书期刊，享受阅读乐趣